EQUIPMENT LIST
設備一覧
故障解析
装置名称
電子顕微鏡（FE-SEM）
メーカー
日立ハイテクノロジーズ
装置スペック
分解能 ：
1.0nm(加速電圧15kV、WD=4mm)
1.4nm (照射電圧1kV WD=1.5mmRM）
2.0nm (加速電圧1kV、WD=1.5mmSM)
試験例
故障解析、成分分析
装置名称
X線観察装置
メーカー
DAGE
装置スペック
認識解像度 ：0.25μm
最大検査範囲 ：458×407mm
最大サンプル重量 ：5kg
幾何学倍率 ：1600倍
I.I管傾斜角 ：0～70ﾟ
試験例
X線観察、不具合解析、はんだのボイド観察
装置名称
蛍光X線分析装置
メーカー
HORIBA
装置スペック
"世界最小Ø10μmプローブ搭載
■スマートマッピング採用、ナビゲーション機能、多点分析（連続1000点）"
異物分析/有害元素スクリーニング
検出元素 ：Na～U
試料室環境 ：大気・真空 切替可能
試験例
異物分析/有害元素スクリーニング